Thiết bị điều khiển lưu lượng 5850EM Brooks Instrument

Đặc trưng
Độ ổn định lâu dài của <0,2% toàn thang đo mỗi năm
<3 giây thời gian giải quyết để thay đổi lệnh với độ vọt lố / không đáng kể
Phạm vi lưu lượng rộng - từ 3 sccm đến 30.000 slpm
Xếp hạng áp suất cao - lên tới 1.500 psi
Tùy chọn hoàn thiện quy trình nâng cao - 5 inch inch Ra avg
Cảm biến lưu lượng di động
Không nhạy cảm với thái độ gắn kết
Tương thích cơ học và điện với các bộ điều khiển lưu lượng lớn khác
Chức năng "van tắt" và thanh lọc tương thích với TTL
Những lợi ích
Đường dẫn dòng chảy hoàn toàn bằng kim loại giúp tăng cường độ tinh khiết của khí và giảm rò rỉ
Độ ổn định và độ chính xác lâu dài trong toàn bộ quá trình và phạm vi ứng dụng
Lợi tức đầu tư tuyệt vời do hiệu suất đáng tin cậy
Cảm biến lưu lượng có thể tháo rời giúp loại bỏ sự cần thiết phải theo dõi và điều chỉnh lại áp suất khí liên tục
Dễ dàng cài đặt và phục vụ với đầu vào / đầu ra tương tự
Các ứng dụng
Sợi quang
LED / MOCVD
Chất bán dẫn
Năng lượng mặt trời

2. Thông số kỹ thuât: