Thiết bị điều khiển lưu lượng khí GF125 / GF126 Brooks Instrument

1. Đặc tính chung của thiết bị điều khiển lưu lượng GF125

Thời gian đáp ứng cực nhanh và mức độ tinh khiết cao nhất - Sê-ri GF125 là đa biến thế hệ thứ hai, không nhạy áp suất thoáng qua (PTI), bộ điều khiển lưu lượng khối và kim loại kín. Đầu tiên để đưa công nghệ kiểm soát lưu lượng lớn PTI ra thị trường, GF125 giảm thiểu sự biến đổi dòng khí do biến động áp suất và nhiệt độ. Công nghệ MultiFlo ™ tiêu chuẩn cho phép một MFC hỗ trợ hàng ngàn loại khí và kết hợp phạm vi mà không cần loại bỏ nó khỏi dòng khí hoặc ảnh hưởng đến độ chính xác.

Kết quả: giảm kích thước và chi phí của các tấm khí, bằng cách loại bỏ sự cần thiết của bộ điều chỉnh áp suất, bộ chuyển đổi áp suất và phần cứng liên quan, kết hợp với hiệu suất PTI tốt nhất của ngành để tối đa hóa năng suất và năng suất.

Thiết bị điều khiển lưu lượng khí GF125 / GF126 Brooks Instrument

Đặc trưng
Độ ổn định dài hạn bằng 0 <0,5% toàn thang mỗi năm
Thời gian lắng cực nhanh: 300 ms - <700 ms
Tốc độ dòng chảy quy mô lên đến 300 slpm
Đường dẫn dòng chảy có độ tinh khiết cực cao - Bề mặt hoàn thiện 4 inch inch Ra
Vật liệu làm ướt tuân thủ SEMI F20
Cảm biến chống rung Hastelloy® T-Rise chống ăn mòn với bộ xử lý ARM tốc độ cao
Hoạt động nhanh, lắp ráp van không màng không bị ảnh hưởng bởi áp suất chênh lệch và được thử nghiệm trong hơn bảy triệu chu kỳ mà không có bất kỳ hỏng hóc nào
Công nghệ MultiFloTM mang đến sự linh hoạt vô song Một thiết bị có thể được lập trình cho hàng ngàn cấu hình phạm vi dòng khí và lưu lượng khác nhau mà không cần loại bỏ MFC khỏi dòng khí hoặc làm giảm độ chính xác
Màn hình cục bộ cho biết lưu lượng, nhiệt độ, áp suất và địa chỉ mạng để dễ dàng khắc phục sự cố cung cấp khí và van cách ly
DeviceNetTM, RS-485 L-Protocol và các giao diện tương tự
Những lợi ích
Bằng cách kết hợp công nghệ cảm biến lưu lượng được cấp bằng sáng chế của Brooks với cụm van không màng hoạt động nhanh, Sê-ri GF125 mang lại thời gian xử lý và phản ứng nhanh hơn gấp 3 lần so với các bộ điều khiển lưu lượng lớn khác
Đường dẫn ướt được tối ưu hóa để cải thiện khô
Với MultiFloTM, phạm vi dòng quy mô đầy đủ MFC có thể được thu nhỏ lại theo tỷ lệ 3: 1 mà không ảnh hưởng đến độ chính xác, độ nghiêng hoặc rò rỉ theo thông số kỹ thuật, để tối ưu hóa quy trình và hàng tồn kho
Một cơ sở dữ liệu khí đầy đủ cung cấp phạm vi bảo hiểm khí quá trình rộng nhất
Khả năng không nhạy cảm thoáng qua áp suất (PTI) khắc phục những hạn chế của MFC thông thường phản ứng mạnh với dao động áp suất đầu vào nhỏ. Kết quả là hiệu suất ổn định và độ chính xác dự đoán.
Hiển thị người dùng thuận tiện và cổng chẩn đoán / dịch vụ độc lập hỗ trợ cài đặt, giám sát và xử lý sự cố thiết bị
Các ứng dụng chính
Chất bán dẫn
MOCVD
Các ứng dụng kiểm soát dòng khí đòi hỏi một đường dẫn kim loại có độ tinh khiết cao

2. Thông số kỹ thuât: