Module  EtherCAT  GF100 Brooks Instrument

1. Đặc tính chung của module EtherCAT 

Hiệu suất hoàn hảo cho các quy trình bán dẫn
Chẩn đoán nhúng tận dụng khả năng thu thập dữ liệu EtherCAT® thời gian thực
Cảm biến lưu lượng cực ổn định (≤ 0,15% độ trôi của S.P mỗi năm) cho phép độ chính xác điểm đặt thấp hơn chặt chẽ hơn và giảm yêu cầu bảo trì
Cải thiện việc tắt van (≤ 0,15% phạm vi bin) làm giảm rò rỉ van để giảm hiệu ứng wafer đầu tiên
Độ nhạy cảm thoáng qua áp suất mới được tăng cường làm giảm độ nhạy xuyên âm để phân phối dòng chảy ổn định
Đặc trưng
Độ ổn định 0 dài hạn của <± 0,15% toàn thang đo mỗi năm
Thời gian giải quyết: 300 ms - <1 giây
Tốc độ dòng chảy quy mô lên đến 300 slpm
Đường dẫn dòng chảy con dấu hoàn toàn bằng kim loại: tùy chọn cho bề mặt Ra 5 hoặc 10 inch
Cảm biến T-Rise chống ăn mòn của Hastelloy® cải thiện độ tái lập của phép đo ở nhiệt độ cao
Khả năng lập trình phạm vi và khí MultiFloTM Một thiết bị, hàng ngàn loại khí và kết hợp phạm vi mà không loại bỏ MFC khỏi dòng khí hoặc ảnh hưởng đến độ chính xác
Hiển thị người dùng thuận tiện và cổng chẩn đoán / dịch vụ độc lập hỗ trợ cài đặt, giám sát và xử lý sự cố thiết bị
Hệ thống phân phối an toàn GF120 (SDS®) là bộ điều khiển lưu lượng khối giảm áp suất thấp tiên tiến của Brooks, để cung cấp các khí hệ thống phân phối an toàn khí quyển (SDS) được sử dụng trong các quy trình Implant và Etch

Những lợi ích
Màn biểu diễn hiếm có
Thời gian phản ứng nhanh cải thiện hiệu quả ứng dụng
Cấu trúc liên kết linh hoạt
Cấu trúc liên kết mạng vô hạn có thể
Đơn giản và mạnh mẽ
Cấu hình, chẩn đoán và bảo trì
Giá cả phải chăng
Cổng Ethernet tiêu chuẩn
Các ứng dụng
Công cụ khắc bán dẫn
Hệ thống lắng đọng hơi hóa học màng mỏng (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
Hệ thống lắng đọng hơi vật lý (PVD)
Hệ thống quá trình epiticular