Bộ điều khiển lưu lượng nhiệt độ cao 5850EMH Brooks Instrument

1. Đặc tính chung của bộ điều khiển lưu lượng nhiệt độ cao 

Cung cấp hiệu suất hiện đại trong đo lường và kiểm soát khí ở nhiệt độ cao, bộ điều khiển lưu lượng khối kim loại kín nhiệt độ cao 5850EMH từ Brooks Cụ kết hợp tính toàn vẹn rò rỉ nổi bật của phớt kim loại với nhiều tùy chọn cho phép linh hoạt ứng dụng tối đa. Trái tim của Sê-ri 5850EMH là cảm biến có độ ổn định cao, cung cấp tuyến tính tín hiệu đầu ra điện với tốc độ dòng chảy. Tín hiệu này được sử dụng để chỉ thị, ghi và / hoặc các mục đích điều khiển mà không cần mạch tự động.

Đặc trưng
Tính toàn vẹn rò rỉ cao (dưới 10-11 Pa.m3 / s (10-10 atm.cc/s) He)
Phạm vi dòng chảy rộng (0,003 - 100 slpm)
Thép không gỉ VAR 316L có độ tinh khiết cao
Không có hạt
Cổng kiểm tra rò rỉ helium
Van thường đóng (van thường mở tùy chọn)
Ghi đè van kích hoạt bằng điện
Cắt dòng lệnh thấp
Van van tương thích với chức năng TTL
Những lợi ích
Nền tảng sản phẩm ổn định, đã được chứng minh
Khả năng lưu lượng cao lên tới 100 lpm (tương đương N2)
Đường dẫn dòng chảy hoàn toàn bằng kim loại giúp tăng cường độ tinh khiết của khí và giảm rò rỉ
Dễ dàng cài đặt và phục vụ với đầu vào / đầu ra tương tự
Các ứng dụng
Sản xuất sợi quang - MCVD, OVD, AVD
Kiểm soát lưu lượng hơi nước