Danh mục sản phẩm

Hỗ trợ trực tuyến

icon hotline

+84917.943.068

Hỗ trợ online
skyper

Icon điện thoại +84917.943.068

Icon email chien@tmpvietnam.com

VIDEO

Chi tiết sản phẩm

  • Thiết bị điều khiển lưu lượng 5850EM Brooks Instrument

  • Mã SP:
  • Giá : Liên hệ
  • Mã sản phẩm: 

    Xuất sứ: USA

    Liên hệ: 0917 943 068

    Email: sales@tmpvietnam.com

    Công Ty TNHH và DV Tăng Minh Phát là nhà phân phối chính thức của hãng Brooks Instrument tại việt nam, chuyên cung cấp các thiết bị đo lường hãng Brooks Instrument tại Việt Nam,Brooks Instrument Việt Nam

Thiết bị điều khiển lưu lượng 5850EM Brooks Instrument

1. Đặc tính chung của đồng hồ đo lưu lượng dạng cơ

Bộ điều khiển lưu lượng khối kín bằng kim loại 5850EM đo và kiểm soát các luồng khí áp suất cao trong môi trường siêu sạch với độ ổn định đã được chứng minh dựa trên hiệu suất của MFC dòng 5850E & i được sử dụng rộng rãi. Cấu trúc niêm phong kim loại và bề mặt ướt được đánh bóng điện của nó đảm bảo tính toàn vẹn dòng chảy vượt trội và giúp cải thiện hiệu quả quá trình tổng thể bằng cách loại bỏ sự cần thiết phải theo dõi liên tục và điều chỉnh lại áp suất khí để cung cấp lưu lượng khí ổn định.

Thiết bị điều khiển lưu lượng 5850EM Brooks Instrument

Đặc trưng
Độ ổn định lâu dài của <0,2% toàn thang đo mỗi năm
<3 giây thời gian giải quyết để thay đổi lệnh với độ vọt lố / không đáng kể
Phạm vi lưu lượng rộng - từ 3 sccm đến 30.000 slpm
Xếp hạng áp suất cao - lên tới 1.500 psi
Tùy chọn hoàn thiện quy trình nâng cao - 5 inch inch Ra avg
Cảm biến lưu lượng di động
Không nhạy cảm với thái độ gắn kết
Tương thích cơ học và điện với các bộ điều khiển lưu lượng lớn khác
Chức năng "van tắt" và thanh lọc tương thích với TTL
Những lợi ích
Đường dẫn dòng chảy hoàn toàn bằng kim loại giúp tăng cường độ tinh khiết của khí và giảm rò rỉ
Độ ổn định và độ chính xác lâu dài trong toàn bộ quá trình và phạm vi ứng dụng
Lợi tức đầu tư tuyệt vời do hiệu suất đáng tin cậy
Cảm biến lưu lượng có thể tháo rời giúp loại bỏ sự cần thiết phải theo dõi và điều chỉnh lại áp suất khí liên tục
Dễ dàng cài đặt và phục vụ với đầu vào / đầu ra tương tự
Các ứng dụng
Sợi quang
LED / MOCVD
Chất bán dẫn
Năng lượng mặt trời

2. Thông số kỹ thuât:

Flow Range (Full Scale Capacity) .06 sccm - 30,000 sccm
Repeatabilit 0.2% of rate
Linearity ±0.5% F.S. (included in accuracy)
Control Range 2-3% - 100%
Number of Bins
N/A
Zero Stability < ±0.5% F.S. per year
Mechanical  
Seal Material Metal
Level of Purity / Surface Finish 316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel
Max Temperature 65oC
Differential Pressure Range 5 - 50 psi (gas and range dependent)
Max Pressure 1500 psi
Leak Integrity 1x10-10 atm cc/sec He
Analog Communication

4-20 mA

0-5 Vdc

Electrical Connection 15 Pin D Connector (DA-15P)
Environmental Compliance N/A
 

 

Sản phẩm cùng loại