Danh mục sản phẩm

Hỗ trợ trực tuyến

icon hotline

+84917.943.068

Hỗ trợ online
skyper

Icon điện thoại +84917.943.068

Icon email chien@tmpvietnam.com

VIDEO

Chi tiết sản phẩm

  • Module EtherCAT GF100 Brooks Instrument

  • Mã SP:
  • Giá : Liên hệ
  • Mã sản phẩm: 

    Xuất sứ: USA

    Liên hệ: 0917 943 068

    Email: sales@tmpvietnam.com

    Công Ty TNHH và DV Tăng Minh Phát là nhà phân phối chính thức của hãng Brooks Instrument tại việt nam, chuyên cung cấp các thiết bị đo lường hãng Brooks Instrument tại Việt Nam,Brooks Instrument Việt Nam

Module  EtherCAT  GF100 Brooks Instrument

1. Đặc tính chung của module EtherCAT 

Hiệu suất hoàn hảo cho các quy trình bán dẫn
Chẩn đoán nhúng tận dụng khả năng thu thập dữ liệu EtherCAT® thời gian thực
Cảm biến lưu lượng cực ổn định (≤ 0,15% độ trôi của S.P mỗi năm) cho phép độ chính xác điểm đặt thấp hơn chặt chẽ hơn và giảm yêu cầu bảo trì
Cải thiện việc tắt van (≤ 0,15% phạm vi bin) làm giảm rò rỉ van để giảm hiệu ứng wafer đầu tiên
Độ nhạy cảm thoáng qua áp suất mới được tăng cường làm giảm độ nhạy xuyên âm để phân phối dòng chảy ổn định
Đặc trưng
Độ ổn định 0 dài hạn của <± 0,15% toàn thang đo mỗi năm
Thời gian giải quyết: 300 ms - <1 giây
Tốc độ dòng chảy quy mô lên đến 300 slpm
Đường dẫn dòng chảy con dấu hoàn toàn bằng kim loại: tùy chọn cho bề mặt Ra 5 hoặc 10 inch
Cảm biến T-Rise chống ăn mòn của Hastelloy® cải thiện độ tái lập của phép đo ở nhiệt độ cao
Khả năng lập trình phạm vi và khí MultiFloTM Một thiết bị, hàng ngàn loại khí và kết hợp phạm vi mà không loại bỏ MFC khỏi dòng khí hoặc ảnh hưởng đến độ chính xác
Hiển thị người dùng thuận tiện và cổng chẩn đoán / dịch vụ độc lập hỗ trợ cài đặt, giám sát và xử lý sự cố thiết bị
Hệ thống phân phối an toàn GF120 (SDS®) là bộ điều khiển lưu lượng khối giảm áp suất thấp tiên tiến của Brooks, để cung cấp các khí hệ thống phân phối an toàn khí quyển (SDS) được sử dụng trong các quy trình Implant và Etch
Những lợi ích
Màn biểu diễn hiếm có
Thời gian phản ứng nhanh cải thiện hiệu quả ứng dụng
Cấu trúc liên kết linh hoạt
Cấu trúc liên kết mạng vô hạn có thể
Đơn giản và mạnh mẽ
Cấu hình, chẩn đoán và bảo trì
Giá cả phải chăng
Cổng Ethernet tiêu chuẩn
Các ứng dụng
Công cụ khắc bán dẫn
Hệ thống lắng đọng hơi hóa học màng mỏng (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
Hệ thống lắng đọng hơi vật lý (PVD)
Hệ thống quá trình epiticular

Module  EtherCAT  GF100 Brooks Instrument

2. Thông số kỹ thuât:

Flow Range (Full Scale Capacity)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

Accuracy

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

Repeatability < ±0.15% S.P.
Pressure Transient Insensitivity Specific models
Multi-Gas & Range Configurability MultiFlo™ Standard (most models)
Control Range

Standard GF Series:  2-100%

High Flow GF Series: 5-100%

Number of Bins

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

Valve Shut Down

Standard GF Series: < 0.15% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

Zero Stability < ±0.15% F.S. per year
Flow Temperature Coefficient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

Seal Material Metal
Level of Purity / Surface Finish 5 - 10µ inch Ra
Wetted Materials

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Valve Options  
Max Temperature 50oC
Max Pressure

Standard GF Series: up to 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Leak Integrity 1x10-10 atm cc/sec He
Alarms

Control Valve Output

Network Interruption

Temperature High/Low

Pressure High/Low

Power Surge/Sag

 

Sản phẩm cùng loại