Bộ phân chia hơi nước VDM300 DI Brooks Instrument

1. Đặc tính chung của bộ phân chia hơi nước VDM300 DI

Mô-đun phân phối hơi (VDM) từ Brooks Cụ là một mô-đun khép kín, hiệu suất cao để phân phối hơi nước có độ tinh khiết cực cao (DI). Nó có thiết kế tiết kiệm năng lượng cho phép tạo ra nhiệt độ thấp, độ tinh khiết cực cao. Nó sử dụng một kỹ thuật phân phối hơi đã được chứng minh và kết hợp nó với điều khiển kỹ thuật số tiên tiến và các tính năng chẩn đoán tích hợp trong một gói nhỏ, tiện lợi.

Được thiết kế cho các quá trình thụ động khắc dải và kim loại tiên tiến, VDM mang lại độ chính xác được cải thiện, tốc độ dòng chảy cao hơn, phạm vi điều khiển rộng hơn và mức tiêu thụ điện năng thấp hơn so với các hệ thống bay hơi flash. Dựa trên các kỹ thuật đo lưu lượng khối nhiệt đã được chứng minh, VDM tạo ra hơi ở trạng thái hơi không siêu nóng, làm giảm tác động mạnh của nước khử ion, để cải thiện độ tin cậy và hoạt động sạch hơn.

VDM cung cấp các tính năng chẩn đoán và ghi dữ liệu thân thiện với người dùng thông qua cổng dịch vụ độc lập và giao diện người dùng đồ họa trực quan.

Đặc trưng
Phạm vi lưu lượng: 3 slpm (hơi DIW)
Đo hơi nước trực tiếp với độ chính xác cao
Kết nối trực tiếp với nhà cấp nước khử ion
Hoạt động ở nhiệt độ thấp hơn (trạng thái không quá nóng)
Thiết kế tối ưu cho xả nước và thoát nước
Truyền thông kỹ thuật số EtherCAT
Giao diện người dùng đồ họa Brooks Expert Support Tool (BEST)
Những lợi ích
Sử dụng kỹ thuật kiểm soát và đo lưu lượng khối nhiệt đáng tin cậy đã được chứng minh
Khả năng chịu áp lực cao của nước fab DI khác nhau
Cải thiện khả năng chống ăn mòn trong đường ướt
Đảm bảo hoạt động sạch hơn
Giao diện công cụ sử dụng giao tiếp analog hoặc kỹ thuật số
Giao diện người dùng trực tiếp để tăng cường thu thập hoặc xử lý sự cố
Các ứng dụng
Quá trình khắc kim loại bán dẫn silicon
Quá trình dải kim loại bán dẫn silicon
Độ ẩm độ tinh khiết cực cao trong môi trường dưới khí quyển